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单振子双腔体压电薄膜泵的研究


□ 张德君 程光明 杨志刚 曾 平

  摘要:利用雕刻技术,以有机玻璃为原材料,加工制作了一种可双向工作的单振子双腔体压电薄膜泵,并对该结构压电泵的工作原理进行了阐述。通过对单振子双腔体压电薄膜泵的输出流量和压力的测试,得出在输入100 V正弦交流信号时,它的最佳工作频率为20 Hz,输出流量为785 mL/min,输出压力为14kPa,表明单振子双腔体压电泵在低频工作时,其输出流量优于单振子单腔体压电泵,而且能够提高机械转化效率,工作过程无脉动现象。
  关键词:压电薄膜泵;双腔体;哔振子
  中图分类号:TH38 文献标识码:A 文章编号:0253—987X(2007)03—0380—03

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