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氧化物薄膜研制中的电子能谱技术


□ 郭沁林

  摘 要 随着科学技术的不断发展,人们正在寻求更新的实用材料。金属氧化物,包括金属氧化物薄膜的各种实用材料,在工业界、信息产业界和能源开发等方面的应用前景,早已引起国内外学者的极大关注。例如,由于氧化物具有各种特殊的介电和光学性质,研究和开发基于氧化物薄膜的气敏材料非常热门。如何制备出有实用价值的各种薄膜材料,是科学家们一直关心和深入研究的课题。电子能谱技术在各种材料的基础研究和实际应用中起着重要的作用。本文以有序金属氧化物薄膜研制为例,简要评述了电子能谱技术(包括X射线光电子能谱(XPS),紫外光电子能谱(UPS),俄歇电子能谱(AES)和高分辨电子能量损失谱(HREELS),以及低能电子衍射(LEED)等技术在氧化物薄膜材料制备和表征中的应用。
  关键词 氧化物薄膜,薄膜材料,电子能谱,俄歇电子能谱,电子能量损失谱
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