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一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法


□ 贾书海 李以贵 朱 军 孙 潇

  摘要:提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针。通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方向上的强度不均匀问题,采用正交两次曝光方法来补偿同步辐射光源的光束分布不均匀性。这种方法工艺过程非常简单,并且无需任何特殊装置。文中所有实验是在日本立命馆大学的超导压缩存储环同步辐射光源AURORA的第13条线上完成的。实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的空心微针,实现微针阵列的低成本、批量化制造。
  关键词:微电子机械系统;微针;同步辐射;光刻
  中图分类号:TH703 文献标识码:A 文章编号:0253—987X(2007)05—0589—04

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