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加槽石英微天平粘度密度传感器的分析与优化


□ 常 浩 王琪民 邓 轶
摘要:提出一种用有限元方法计算石英微天平谐振频率变化的有效方法.运用此方法分析了用加槽石英微天平分别测量液体粘度及密度的原理,解释了前人的实验结果.对影响传感器灵敏度的微槽深度、宽度、周期、微槽侧壁倾角及石英微天平的振动频率进行了分析、优化.关键词:石英微天平;密度;粘度;优化;微槽中图分类号:TP212
  文献标识码:A文章编号:0253-2778(2004)01—0098—07

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