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长波长垂直腔面发射激光器研究


□ 谢正生 吴惠桢 劳燕锋 刘 成 曹 萌 曹春芳

  摘 要 垂直腔面发射激光器(简称VCSEL)近年来受到了国内外科技界和企业界的高度关注,它在光通信领域具有潜在的应用。文章主要介绍了长波长垂直腔面发射激光器的发展历史、基本应用、器件结构、材料和制备工艺,最后分析了研制长波长VCSEL所遇到的问题及相应解决方法,并进行了展望。
  关键词 垂直腔面发射激光器(VCSEL),布拉格反射镜(DBR),有源层,键合,隧道结
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